全新推出的 Nernst 便捷式微量氧分析儀是專門針對微電子行業(yè)設計制造的微氧分析儀。廣泛應用于 快速退火爐，Rapid Thermal Processing，真空焊接爐，電子行業(yè)芯片制造，生物醫(yī)藥業(yè)，精密零部件光亮退火爐，高強合金刀具涂層處理設備，以及各種小型設備上需控氧的工藝。由于采用長壽命，高精度氧化鋯片結(jié)構(gòu)原理，可有效測量微氧，所測微氧量可達10的負30次方%~100%氧含量，特別適合對產(chǎn)品工藝氧含量要求控制要求嚴格設備和工藝。分析儀實時提供爐內(nèi)或煙道內(nèi)煙氣的含量O2%(百分比)以及12種其他有用的參數(shù)。微氧氣分析儀也適用于其他各種需要測量高精度氧氣含量的領域。
